薄膜互连线形状参数对电迁移的影响

【摘要】为了探究Au互连线的形状参数对互连线寿命的影响,在环境温度为150℃、加载电流为500mA的试验条件下,使用恒温箱同时对多种不同形状的样品进行加速寿命试验。结果表明:在此试验条件下,不同形状参数的互连线的失效模式相同,且皆为电迁移导致互连线出现断路;互连线与电极连接处的圆弧半径越大,电迁移导致的失效现象出现的越晚,对应的薄膜互连线的寿命也越长。
【作者】黄飞；丁善婷；李婳婧；
【机构】湖北工业大学机械工程学院；
【关键词】薄膜互连线；加速寿命试验；电迁移；

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